ITO導(dǎo)電膜玻璃制作流程
ITO導(dǎo)電膜玻璃的生產(chǎn)工藝流程可分為觸摸屏以及LCD兩類，其中LCD用ITO導(dǎo)電膜玻璃對(duì)AR玻璃除了增加TiO2、Nb2O5等多級(jí)鍍膜流程外，還要改變工藝過程相關(guān)參數(shù)的控制標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí)，由于產(chǎn)品規(guī)格不同，尤其是核心技術(shù)指標(biāo)透過率、膜層電導(dǎo)率要求的不同，對(duì)導(dǎo)電玻璃膜層結(jié)構(gòu)、鍍膜流程以及鍍膜技術(shù)要求也不盡相同。核心流程為：（1）切割、磨邊：將采購(gòu)的大片超薄玻璃（LCD顯示行業(yè)大都使用的是厚度1.1mm以下的超薄玻璃）按客戶需要切割成相應(yīng)的尺寸，再將玻璃磨邊倒角，以便后續(xù)工序中的操作安全和準(zhǔn)確定位。
（2）原玻璃檢驗(yàn)：將切割、磨邊后的玻璃進(jìn)行表觀質(zhì)量（劃傷、點(diǎn)缺陷、磨邊質(zhì)量、幾何尺寸等）檢驗(yàn)，將不符合要求的玻璃挑出。（3）清洗：電子玻璃對(duì)表觀的要求非常高，需要在凈化環(huán)境中進(jìn)行，因此在進(jìn)行真空鍍膜前，需將切割磨邊好的玻璃進(jìn)行清洗。玻璃基板的清洗工藝流程為：清洗液滾刷清洗→清洗液盤刷清洗→純凈水滾刷清洗→純凈水盤刷清洗→純凈水噴淋→熱風(fēng)吹干→送入超凈間。經(jīng)表觀檢驗(yàn)合格后，作為鍍膜使用。（4）真空鍍膜：將清洗后檢驗(yàn)合格的玻璃裝上鍍膜車架，送入真空鍍膜機(jī)進(jìn)行鍍膜。真空鍍膜的工藝流程為：玻璃裝片→根據(jù)產(chǎn)品要求調(diào)整設(shè)備工作參數(shù)（靶電壓、電流、溫度、工作節(jié)拍）→鍍SiO2薄膜→鍍ITO薄膜→卸片。（5）成品檢驗(yàn)：根據(jù)產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，逐片檢查成品表觀質(zhì)量，電氣性能參數(shù)，并采用抽樣檢驗(yàn)的方法，將檢驗(yàn)好的玻璃按客戶要求包裝，并做好標(biāo)示，便于質(zhì)量追蹤檢查。
