真空爐的真空系統(tǒng)的三個基本要求;

1)能迅速地將真空熱處理爐的真空度抽到規(guī)定的要求。

2)能及時排出被處理工件和爐內(nèi)構(gòu)件所釋放出的各種氣體，以及因

真空泄漏而滲入爐體內(nèi)的氣體。

3)真空機(jī)組占地面積小，運(yùn)行安全可靠，操作簡便。

真空系統(tǒng)的組成

真空爐的真空系統(tǒng)通常由真空獲得設(shè)備(真空泵機(jī)組)、控

制真空組件和測量真空組件所組成。

1)真空泵機(jī)組。根據(jù)爐子工作壓力和抽氣量的大小，分別選配不同

的低真空泵、中真空泵、高真空泵和超高真空泵。

2)真空組件或元件。在真空爐體和真空泵機(jī)組之間配備的各種真空

組件或直字元件，如管路、密封圈、法蘭、波紋管、冷阱、過濾器和

閥門等。

3)真空測量系統(tǒng)，如真空規(guī)管、真空壓力表和其他真空測量儀表。

4)真空檢漏儀器、真空控制儀器、充氣裝置等。